第253章 最大的难点[第2页/共2页]

呆呆问道：“陈总你说甚么？”

陈今皱着眉头，这太可惜了吧。

“是的，首要的难点就是镜头。”

技术道理层面的冲破，更是相称于别人在开山修路的时候，你打通了一条隧道。

双工件台就不太轻易了，传闻ASML研发的基于磁悬浮平面电机的双工件台产品，其掩模台的活动节制精度做到了2纳米，大大晋升了芯片加工的精度和效力。

“好办，镜头好办……星海科技，有体例供应你所说的这类镜头。”陈今说道。

“你们有没有体例加快它的暴光效力，赶上传统光刻机呢？”

来到这家公司调研的陈今，看到了面前这台22纳米超辩白光刻机，听了该公司的老总张昱明的先容后。

光源方面，毫无疑问Z国的天下最强的阿谁，这个结论从激光兵器Z国较着抢先M国便能得出。

国产光刻机的生长始终不温不火。

“体例有！但实现太难了，以现有的技术，几近不成能实现。”

光刻机的制造难度首要在于三大关头设备：光源、双工件台、光刻机镜头。

“但……太难了，以现有的产业制造才气，出产出那样的光刻镜头，起码得比及20年今后。”

“乃至如果能做出如许的光刻镜头，我们能够在一台超辩白光刻设备内，集成十组、一百组光刻镜头，在直径超越100英寸的晶圆长停止光刻，10万、100万个的微型镜头同时事情，团体光刻效力，能够远远超越传统光刻机！”

题目是二十年后，跟着产业技术的进步，传统光刻机的造价也降下去了，超辩白光刻还是不具有较着的合作上风……这条路远景虽好，却必定成不了一条光亮大道。

扭过甚看着陈今，一脸惊诧！

很多高精尖设备，不是说Z国人突破不了把持，而是专利壁垒挡在了那边。

“以是说，主如果一个光刻镜头的题目，对么？”

特别实在芯片范畴，EUV光刻机暴光15秒便能完成的任务，超辩白光刻机需求十多天。

张昱明摇着头，见陈今听得一脸当真，不得不持续道：“芯片的内部布局并不庞大，每个die都是一样的构造，每个晶体管也是不异的，一万个微型镜头，同步完成一样的事情，可大大加快超辩白光刻的效力。”

双工件台也被Z国人霸占了。

这反应出的，是Z国在光学镜头范畴的进步。