第五十三章 设备改造跨越式成功！[第6页/共7页]

操纵员抬开端来，在无尘事情服的玻璃面罩下，是他闪闪发亮的、略带着一丝水汽的眼睛，一声沉闷的嘶吼透过面罩收回来，传到每小我耳朵里。

硬件再好，也需软件共同。

他回到节制位，按工艺流程，快速地在节制仪表盘长停止各项操纵：开释掩膜版盒、锁定、挑选掩膜版编号、节制所需编号掩膜版放下、输入暴光率、焦深、能量输出强度等各项数据，并通过显现屏查对输入是否精确。统统确认无误，他按动启动开关，机器声轻微嗡鸣，光刻机开端自开事情。

包含郭逸铭在内，固然明晓得穿戴着无尘事情服，呼吸不会对别人有所滋扰，但统统的人都还是连大气都不敢出，目光炽热地看着操纵员每一个纤细的行动，焦心肠等候他的查验成果。

事情就如许简朴。

显影结束。

尺寸1：1掩膜版早已制造完成，一共筹办了12块掩膜版，这一点在工艺上并无特大改进。在操纵员节制下，主动上胶机飞速转动，缓缓靠近单晶硅衬底，缓慢地扭转而过，一层光刻胶就均匀的涂抹到了单晶硅衬底上。

他们对设备的改革，完美地达到了当初的设想要求！

其别人不睬解，但处置了一辈子质料研讨的董老能够了解。

就如许，他们日以继夜的投入到改革事情中，统统人都忙得人不像人、鬼不像鬼，每天一向要忙到最后一丝精力都被榨干才精疲力尽投入梦境。他们忙得连打理小我卫生的时候都没有，只要操纵在进干净车间颠末必须洗漱法度时仓促洗漱一下。

用公式来表达，就是哪怕每一个环节，胜利率都进步到90%，可全部工艺链运转下来，如果有两个首要环节，就是90乘90，终究胜利率为81%！而当环节延长为三步，那胜利率将蓦地降至72.9%，四步则更降至65.61%。

但迈过了前面这个最首要的关卡，特别是每一道工序都要反复应用的光刻机，表示如此超卓，能够说，此次的试运转至此已经美满胜利。

设备的安装、调试事情也是一个需求非常谨慎的活。

这类环境在海内来讲不算甚么，更卑劣的车间环境也屡见不鲜，海内的技术职员、工人都早已见怪不怪。

为了节俭每一份每一秒，固然质料所就在马路劈面，董老他们仍舍不得华侈这么一点点时候。统统参与技术攻关的职员，吃住都在行政楼内，略微有一点余暇，他们也用来阐发、会商、研讨如何对设备停止主动化改革。有好几次都已经深更半夜了，脑筋里俄然有了某个思路的董老等人，也爬起来，心急火燎地敲开郭逸铭的房门，与他就此展开论证。

高紧密的设备，对事情环境的要求也是一样刻薄非常。这个时候，就显出了何徒弟等人的本领，他们仅靠着肉眼察看、光影判定，就能切确判定出设备的倾斜角度是否合适要求，其切确率，涓滴不亚于上海厂几位拿着测试设备随时观察的工程师，且做出判定的速率，比他们摆放设备，从各个角度几次测量还来得快！

就如许，他们也花了很长时候，才勉强接管了这类别扭的事情体例。

并且跟着进度的提早，郭逸铭还对在集成电路制造中，居于最关头技术环节的光刻机设备的改革，做出了全新的改进。

只要郭逸铭本身晓得，固然干净厂房的各项环境变量，从目标上看增加并不是特别较着，与投入的巨额支出比拟，看似显得很不划算。