第五十三章 设备改造跨越式成功！[第3页/共7页]

海内当前的光刻机，还采取的是六十年代的打仗式光刻机，在挪动掩膜时，不留意就会碰触到光刻胶。而掩膜上哪怕是呈现一个极其纤细的毁伤，都将给接下来的集成电路制造，带来无可估计的严峻结果。

他回到节制位，按工艺流程，快速地在节制仪表盘长停止各项操纵：开释掩膜版盒、锁定、挑选掩膜版编号、节制所需编号掩膜版放下、输入暴光率、焦深、能量输出强度等各项数据，并通过显现屏查对输入是否精确。统统确认无误，他按动启动开关，机器声轻微嗡鸣，光刻机开端自开事情。

并且跟着进度的提早，郭逸铭还对在集成电路制造中，居于最关头技术环节的光刻机设备的改革，做出了全新的改进。

为了帮忙他们适应，郭逸铭长时候留在车间内，几近是手把手地就每一个细节，对他们停止指导。这几位老技工都是八级初级技工，在海内是如同国宝一样的人才，为了适应新厂房的新技术标准，现在也要跟着他，像个学徒一样，一点一点学习各种重视事项。

由此可见，尽最大尽力晋升每一个环节的制备胜利率，对集成电路制造业的团体晋升结果，都具有非常首要的意义。

但在他双眼紧闭的脸上，倒是一幅极度满足的笑容，笑得非常光辉和甜美。

这就是科技的力量！

操纵员用操纵钳将操纵盘取出，将仍带着潮湿的操纵盘放进烘焙机停止烘焙措置。又是一阵等候，直到显现屏综合监控数据显现出烘焙已结束，操纵员翻开烘焙机，用操纵钳将冷却后的操纵盘取出，将其安排到面前的显微镜下，细心察看单晶硅衬底上的电路显影成果。如果光刻、显影、洗濯、烘焙过程中呈现不对，这张单晶片将被烧毁，不会转入下一流程。

他看着干净如新的厂房，心中悄悄感喟，何时海内也能用得起如许高贵的干净厂房呢？

在这个期间，海内加工制造业的掉队，不但仅是详细制造工艺上的掉队，更是认识上的掉队。各种对细节的冷视，才培养了全部工艺程度的低下。

只要搞好洁净卫生，平时勤打扫，特别是保养好设备关头紧密机件便能够了，并不会影响设备运转精度，是以没有一小我想到要给紧密加工机床建甚么超净厂房。别说浅显的国营大厂，就是从中美电子研讨所这里学到了先进的紧密机床制造技术今后，就在郭逸铭他们不远处，国度花巨资新建并投入利用、产业手部属几个部委抢得头破血流的国营紧密部件制造厂，这个国度对其寄予厚望的中心直属重点企业，也没有扶植专门的超净厂房。

董老毕竟是七十多人的白叟了，长时候站立下体力有些不支。中间的万洪年纪一样不轻了，高国皓美意肠让他们坐下歇息一会儿，但谁也不肯拜别。两个老头子你搀着我、我扶着你，颤巍巍地站在那边，刚强地要第一时候看到成果。

光刻是停止集成电路制造的首要环节，其精度、胜利率，能够说直接决定了集成电路制造的品格，和产品良品率凹凸，首要性不管如何拔高，都不为过。

这类环境在海内来讲不算甚么，更卑劣的车间环境也屡见不鲜，海内的技术职员、工人都早已见怪不怪。

操纵员用操纵钳夹出操纵盘中，将硬化后的单晶硅衬底送到相邻的别的一个净洁室内。这里，卖力操纵光刻机的技术职员已经完成了光刻机的预操纵，掩膜版盒也已安装到位，见到呈放单晶硅衬底的操纵盘传送过来，低头再次查抄了一下光刻胶涂抹环境以后，用带着防护手套的手，翻开光刻机舱门，谨慎翼翼将操纵盘安排入内，细心查抄以后，关上舱门。